LF420-S模擬型氣體質(zhì)量流量控制器/流量計(jì)

簡(jiǎn)要描述：用于對(duì)小流量氣體的質(zhì)量流量進(jìn)行精密的測(cè)量和控制，具有精度高，穩(wěn)定性好，模擬電路，可靠性高，安裝簡(jiǎn)單，操作方便。廣泛用于電子工藝設(shè)備、真空鍍膜、石油化工、冶金、制藥、光纖熔煉、分析測(cè)量?jī)x器、制氣配氣等行業(yè)。

LF420-S模擬型氣體質(zhì)量流量控制器/流量計(jì)產(chǎn)品特點(diǎn)：

  精度高、穩(wěn)定性好、模擬電路、響應(yīng)速度快

LF420-S模擬型氣體質(zhì)量流量控制器/流量計(jì)產(chǎn)品用途：

廣泛用于電子工藝設(shè)備、真空鍍膜、石油化工、冶金、制藥、光纖熔煉、分析測(cè)量?jī)x器、制氣配氣等行業(yè)。

LF420-S模擬型氣體質(zhì)量流量控制器/流量計(jì)技術(shù)參數(shù)：

產(chǎn)品型號(hào) LF420-SC LF420-SM

滿量程范圍 SCCM   0～5，10，20，30，50，100，200，500

SLM    0～1, 2, 3, 5, 10, 15, 20, 30

量程比 控制器50:1 流量計(jì)100:1

精度 ±1.0%F.S

線性 ±0.5%F.S

重復(fù)性 ±0.2%F.S

閥門(mén)類(lèi)型 常閉閥

響應(yīng)時(shí)間 ≤1S-3S

工作壓差 0.1...0.5Mpa

***大耐壓 3MPa

工作環(huán)境溫度 5...45℃

泄漏率 1×10-8Pa.m3/s

通信信號(hào) 0-5V / 4-20MA

供電方式 24VDC（250mA）

密封材料 丁晴橡膠  氟橡膠（可選）

接頭尺寸 3mm  6mm  8mm  10mm  1/8” 1/4”  3/8”

電器接頭 DB9針