***小可檢氦漏率（真空模式）

 <5 *10^-12 mbar.l/s

***小可檢氦漏率（吸***模式）

<1 x 10 ^-7  mbar.l/s

測量范圍

 12 個數(shù)量級

抽氣口允許***大壓強

 15 mbar

真空模式下氦抽速

＞ 2.5 L/S

氦信號反應(yīng)時間

<1 S

檢漏儀啟動時間

<3 min

內(nèi)置漏孔

 10E-7 mbar l/s

質(zhì)譜儀

 180 ^o 磁偏轉(zhuǎn)雙聚焦不銹鋼質(zhì)譜室

離子源

長效雙離子源燈絲（鍍釔銥絲）
（保修 3 年）

可檢質(zhì)量數(shù)

2 ， 3 和 4 原子質(zhì)量單位

測試口連接法蘭

 DN25KF

電源

 220V， 50Hz

尺寸（長 x 寬 x 深）

 495 x 456 x 314（毫米）

重量

40 公斤