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1.支持石英舟直插放置或菱形放置; 2.產(chǎn)能>=8000pcs/h,極低的破損率<=0.05%; 3.高精度陶瓷吸盤規(guī)避吸盤印和劃傷的發(fā)生,高精度花籃頂齒與疏齒保證更低的碎片率; 4.能完美適配常用各200/300/500/600/800/1000/1200槽石英舟; 5.花籃傳輸,插取片所有運行機構(gòu)統(tǒng)一絲桿驅(qū)動; 6.可選配方阻檢測功能。
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