勻膠機(英文名：Spin   Coater)適合半導(dǎo)體硅片的勻膠鍍膜 
詳細介紹： 勻膠機(英文名：Spin   Coater)   
行業(yè)俗稱:勻膠臺,甩膠機,涂膠機,鍍膜機,涂層機    

品牌   LAURELL
型號   WS-650-23N  WS-650-8N   WS-650-15N

產(chǎn)品概述:  
WS650型勻膠機適應(yīng)于半導(dǎo)體硅片,載玻片,晶片,基片,ITO導(dǎo)電玻璃等工藝,制版的表面涂覆.  
勻膠機穩(wěn)定的轉(zhuǎn)速和快速的啟動,可以保證半導(dǎo)體中膠厚度的一致性和均勻性,這正是WS650型均勻膠機的特點.  
該機在這方面采取了許多措施:  
(一)該設(shè)備采用美國先進技術(shù).  
(二)轉(zhuǎn)速在12000轉(zhuǎn)/分范圍內(nèi)非常穩(wěn)定.  
(三)本勻膠機采用PLC控制，速度無極調(diào)節(jié).在啟動之后,一般工藝先以低速運轉(zhuǎn),使膠攤開,然后自動變到高速運轉(zhuǎn).步驟轉(zhuǎn)速及相應(yīng)的時間分別可調(diào).  
(四)本勻膠機采用直流驅(qū)動馬達，超過10年的使用歷史
(五)"吸片"采用電磁閥控制氣路,這樣適合流水線的工藝,一個氣泵可同時帶幾個勻膠機工作,提高了效率.  
(六)智能型調(diào)節(jié)勻膠時間,倒計時數(shù)字顯示
(七)在安裝結(jié)構(gòu)上,采取了減振措施,保證了在運轉(zhuǎn)時噪音很低,保證涂覆表面均勻,保證通過調(diào)節(jié)轉(zhuǎn)速調(diào)節(jié)涂覆厚度. 
(八)勻膠機配真空泵使用. 

 性能指標(biāo)：  

高性能馬達驅(qū)動
旋轉(zhuǎn)控制
Mz型高精度旋涂用馬達
轉(zhuǎn)速范圍:50~12000RPM  （注 50RPM是***小穩(wěn)定轉(zhuǎn)速）
***大加速度:13000RPM/S;
轉(zhuǎn)速誤差:＜±0.5RPM @8000RPM   NIST標(biāo)準(zhǔn)認證；
勻膠均勻性:＜1% @6 inch Wafer

電源電壓：220V/   50Hz   
電機功率：200W   
適用：Φ10-Φ150mm硅片及其它材料等勻膠.  
體積小,重量輕,操作簡便