科學家打造緊湊型固態(tài)激光系統(tǒng)，首次從中產(chǎn)生193nm渦旋光束，可用于提高半導體光刻精度
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來源：DeepTech深科技 更新時間：2025-07-10 11:00:47 [我要投稿] |
| 近日，來自中國科學院空天信息創(chuàng)新研究院和中國科學院大學的研究人員打造出一種緊湊型固態(tài)納秒脈沖激光系統(tǒng)，該系統(tǒng)能在 6 kHz 的重復頻率下生成 193 nm 的相干光，未來有望用于芯片光刻領域。（來源：Advanced Photonics Nexus）具體來說，研究人員自主研發(fā)出一種 ...[查看原文] |
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