1000(W)×800(D)×1750(H)mm

 ◆ 倉(cāng)體結(jié)構(gòu)(石英，約20升)

Φ 245mm ×400Lmm  

 ◆ 等離子發(fā)生器(德國(guó))

頻率2.45GHZ,功率0-1000W連續(xù)調(diào)節(jié),可連續(xù)長(zhǎng)時(shí)間工作

 ◆ 控制系統(tǒng)

觸摸電腦+PLC全自動(dòng)控制,采用歐姆龍、西門子等世界***品牌電器元件，性能穩(wěn)定可靠,并具有手動(dòng)、自動(dòng)兩種模式

 ◆ 真空系統(tǒng)(真空壓力PID閉環(huán)自動(dòng)控制)

英國(guó)愛德華斡旋式干泵 GV40

美國(guó)MKS真空壓力控制節(jié)流閥及薄膜式傳感器      

臺(tái)灣氣動(dòng)真空角閥、充氣閥、DN63不銹鋼真空波紋管

 ◆ 充氣系統(tǒng)

美國(guó)MKS高精度電子質(zhì)量流量計(jì)(2路氣體配制)

日本SMC及CKD高真空氣閥組件