項目

數(shù)據(jù)

適用對象

硅片      2-12inch 25Pcs/cassette 1 cassette/Batch Or 2 cassette/Batch

藍(lán)寶石晶片2-6inch 25Pcs/cassette 1 cassette/Batch Or 2 cassette/Batch

砷化鎵晶片2-6inch 25Pcs/cassette 1 cassette/Batch Or 2 cassette/Batch

碳化硅晶片2-8inch 25Pcs/cassette 1 cassette/Batch Or 2 cassette/Batch

其它襯底晶片

基本規(guī)格

機臺封面：聚丙烯瓷白PP板材（厚度≥10mm）Or China SUS板材（厚度≥2mm）

機臺主體強度結(jié)構(gòu)：整體骨架表面噴涂處理Or China SUS 矩形材

機臺視窗：透明、抗靜電透明PVC（厚度≥5mm）Or China 鋼化玻璃（厚度≥2mm）

選配模塊

l  腐蝕液恒溫系統(tǒng)

l  腐蝕液循環(huán)過濾系統(tǒng)

l  超（兆聲）系統(tǒng)

l  全自動供液系統(tǒng)

l  更全面的全自動烘干系統(tǒng)

l  消防系統(tǒng)

l  可結(jié)合客戶端通訊協(xié)定資料存儲、CIM系統(tǒng)、資料分析存儲建立管理

機臺特點

l  刻蝕工藝自動補藥液保證了工藝槽在運行過程中濃度的穩(wěn)定性

l  QDR沖洗模塊非常見排序式，可根據(jù)制程工藝設(shè)定

l  集成自動干燥系統(tǒng)

l  管路系統(tǒng)、電氣控制系統(tǒng)、伺服電機及絲杠導(dǎo)軌等關(guān)鍵核心部件均采用進口標(biāo)準(zhǔn)產(chǎn)品

l  保修便利，非期貨庫存品工廠內(nèi)均建立安全庫存品

l  全程自動化控制，幾何曲線加減速運動，沖擊小運行平穩(wěn)，機械臂定位精度高

l  多級別用戶工藝數(shù)據(jù)庫，可供用戶使用和存儲

l  作業(yè)區(qū)內(nèi)有害氣體多種安全主動及被動保護相結(jié)合，保證操作人員作業(yè)環(huán)境及人身安全

l  客制化設(shè)計能力佳，搞設(shè)計能力滿足客戶制程工藝需要

機械臂裝置

Robot的工藝路徑種類 N種（設(shè)備出廠前載入PLC內(nèi)）

機械手傳送定位精度 ≤0.3mm

機械臂走向 右進做出或左進右出

制程控制

PLC控制方式

操作界面

全圖形化中文彩色人機界面（10.4彩屏）

槽體數(shù)量

根據(jù)制程要求選擇定制

設(shè)備制造

蘇州尚純半導(dǎo)體設(shè)備有限公司