項目

數(shù)據(jù)

適用對象

硅片      2-12inch 25Pcs/cassette 1 cassette/Batch Or 2 cassette/Batch

藍寶石晶片2-6inch 25Pcs/cassette 1 cassette/Batch Or 2 cassette/Batch

砷化鎵晶片2-6inch 25Pcs/cassette 1 cassette/Batch Or 2 cassette/Batch

碳化硅晶片2-8inch 25Pcs/cassette 1 cassette/Batch Or 2 cassette/Batch

其它襯底晶片

基本規(guī)格

機臺封面：聚丙烯瓷白PP板材（厚度≥10mm）Or China SUS板材（厚度≥2mm）

機臺主體強度結構：整體骨架表面噴涂處理Or China SUS 矩形材

機臺視窗：透明、抗靜電透明PVC（厚度≥5mm）Or China 鋼化玻璃（厚度≥2mm）

選配模塊

l  有機溶劑恒溫系統(tǒng)

l  有機溶劑循環(huán)過濾系統(tǒng)

l  超（兆）聲系統(tǒng)

l  水阻率檢測

l  CDS補液

l  廢液回收

l  更全面的全自動烘干系統(tǒng)

l  消防系統(tǒng)

l  可結合客戶端通訊協(xié)定資料存儲、CIM系統(tǒng)、資料分析存儲建立管理

l  純水節(jié)省功能

排風系統(tǒng)

排風強勁合理設計，為了排風效果達到***佳，排風通道內設有風量導流板，為了方便操作人員及時根據(jù)情況調節(jié)排風量，操作人員可小范圍調節(jié)機臺排風背板上的可拆卸式排風口再配合機臺視窗上的可調節(jié)進氣模塊，從而達到***佳使用效果

機臺特點

l  清洗工藝自動補藥液保證了工藝槽在運行過程中濃度的穩(wěn)定性

l  QDR沖洗模塊非常見排序式，可根據(jù)制程工藝設定

l  集成自動干燥系統(tǒng)

l  管路系統(tǒng)、電氣控制系統(tǒng)等關鍵核心部件均采用進口標準產(chǎn)品

l  保修便利，非期貨庫存品工廠內均建立安全庫存品

l  多級別用戶工藝數(shù)據(jù)庫，可供用戶使用和存儲

l  作業(yè)區(qū)內有害氣體多種安全主動及被動保護相結合，保證操作人員作業(yè)環(huán)境及人身安全

l  客制化設計能力佳，搞設計能力滿足客戶制程工藝需要

制程控制

PLC控制方式

操作界面

全圖形化中文彩色人機界面（10.4彩屏）

槽體數(shù)量

根據(jù)制程要求選擇定制

設備制造

蘇州尚純半導體設備有限公司