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測(cè)量原理:QSSPC(準(zhǔn)穩(wěn)態(tài)光電導(dǎo));
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少子壽命測(cè)量范圍:100 ns-10 ms;
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測(cè)試模式:QSSPC,瞬態(tài),壽命歸一化分析;
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電阻率測(cè)量范圍:3–600 (undoped) Ohms/sq.;
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注入范圍:1013-1016cm-3;
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感測(cè)器范圍:直徑40-mm;
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測(cè)量樣品規(guī)格:標(biāo)準(zhǔn)直徑: 40–210 mm (或更小尺寸);
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硅片厚度范圍:10–2000 μm;
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外界環(huán)境溫度:20°C–25°C;
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功率要求:測(cè)試儀: 40 W , 電腦控制器:200W ,光源:60W;
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通用電源電壓:100–240 VAC 50/60 Hz;
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